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电熔石英材料 FLH621 FLH621H FLH620L

 材料简介

 Introduction

电熔石英材料,具有羟基含量低、纯度高、耐高温性能强等特性。 
广泛应用于半导体行业作为扩散炉及CVD炉元件的材料。

Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.


2-3 半导体 电熔石英材料 拷贝.jpg

电熔石英锭

2-3  电熔石英  拷贝.jpg

电熔石英管

2-3  电熔石英棒.jpg

电熔石英棒

  杂质含量

  Chemical purity


FLH620L  杂质元素典型值  (ppm)

Al

13

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.5

Ni

<0.05

Li

0.4

K

0.4

Mn

<0.05

Na

0.6

Zr

1

Ti

1.30

B

<0.01


FLH621  杂质元素典型值  (ppm)

Al

14.2

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.23

Ni

<0.05

Li

0.44

K

0.25

Mn

<0.05

Na

0.12

Zr

Ti

1.30

B

0.08


FLH621H   杂质元素典型值  (ppm)

Al

8.00

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.15

Ni

<0.05

Li

0.15

K

0.07

Mn

<0.05

Na

0.08

Zr

Ti

1.40

B

0.04

  物理性能

  Physical Property

力学性能

密度(g/cm³)

杨氏模量(GPa)

泊松比

抗弯强度(MPa)

抗压强度(MPa)

抗拉强度(MPa)

抗扭强度(MPa)

莫氏硬度

2.2

75

0.17

65-95

1100

50

30

6-7

电学性能

介电常数

介电损耗

电阻率(Ω.cm)

3.74

0.0001

1×1016

热学性能

应变点(η=1014.5 ℃)

退火点(η=1013 ℃)

软化点((η=107.8 ℃)

热导率(W/m·k)(20℃)

比热 (J/kg.k)

热膨胀系数( x10 -7 /k)
α : 25℃ ~ 320 ℃

1150

1215

1710

1.38

749

5.2-5.8

      注:在没有另外说明的情况下,所有值均指在25 ℃以下。       Other sizes available upon requests.


  光学性能

  Optical properties

00 电熔 红外透过率1.jpg
00 电熔 红外透过率2.jpg

      红外透过率曲线。       Infrared Transmittance Curve.

00 电熔紫外透过率1.jpg
00 电熔紫外透过率2.jpg

      紫外透过率曲线。       Ultraviolet Transmittance Curve.

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